ALAN EMİSYONLU TARAMALI ELEKTRON MİKROSKOBU (FE-SEM)

Taramalı Elektron Mikroskopisi’nde, elektron kaynağından koparılan elektronlar vakum altında bulunan bir kolonda toplayıcı mercekler yardımıyla numune üzerine düşürülmekte, numune yüzeyinde bulunan atomlarla elektron demetinin etkileşmesi sonucunda ortaya çıkan parçacıklar ve x-ışınları detekte edilerek, incelenmekte olan örneğin topoğrafyası ve kimyasal kompozisyonu hakkında bilgi edinilmektedir.

Yüzey atomlarından saçılan ikincil elektronlar örnek yüzeyi hakkında bilgi verirken, geri saçılan elektronlar farklı kimyasal kompozisyonlara sahip bölgeler arasındaki kontrast farkı vasıtasıyla örnek yüzeyindeki elementer farklılıkları tespit etmede kullanılırlar. Geri saçılan elektronlar ayrıca elektron geri saçılım difraksiyonu (EBSD) görüntüsü sağlayarak, örneğin kristalografik yapısını belirlemede yardımcı olurlar. Örnekle elektron demetinin etkileşmesi sonucu ortaya çıkan x-ışınları ise bir EDS dedektörü tarafından toplanarak, Eneji-Dağılımlı X-Işınları Spektroskopisi’nde kullanılmaktadır.

Merkezimizde faaliyet göstermekte olan Hitachi Regulus 8230 marka/model taramalı elektron mikroskobu, Soğuk Alan Emisyonlu Elektron Tabancası’na sahip olup, 1 kV’da 0.9 nm görüntü çözünürlüğüne sahiptir.  0.5 – 30 kV aralığında çalışmakta olan mikroskop, demet yavaşlatma özelliği sayesinde 10 V’a kadar düşebilmekte, böylelikle, numune özelliklerine de bağlı olmakla birlikte, düşük çalışma voltajlarında yüksek çözünürlük sağlamaktadır.

Cihaza tümleşik olarak çalışmakta olan EDS dedektörü vasıtasıyla örnekte bulunan elementlerin bollukları tespit edilip haritalandırma yapılabilmekte, EBSD dedektörü vasıtasıyla numunenin kristalografik yapısı belirlenmekte, STEM dedektörü vasıtasıyla da biyolojik numunelerin, ince filmlerin ya da polimerik malzemelerin iç yapıları hakkında bilgi edinmek mümkün olmaktadır. 

Merkezimizde hizmet vermekte olan, Soğuk Alan Emisyonlu Tabancası’na sahip taramalı elektron mikroskobu, geniş çalışma voltajı aralığı, düşük voltajlarda yüksek çözünürlük kabiliyeti, numune özellklerine bağlı olmakla birlikte, 2000k büyütmeye kadar çıkabilme yeteneğiyle, yüksek çözünürlükte görüntüleme ve yüksek hassasiyette karakterizasyon beklentisinin olduğu malzeme bilimleri, fizik, kimya biyoloji, Tıp bilimleri gibi pek çok alanda  kullanıcıların taleplerini karşılayacak donanıma sahiptir.

Cihaz: Hitachi Regulus 8230 FE-SEM

Ayrıca Elektron Mİkroskobi Hizmet Birimimiz bünyesindeki numune hazırlama laboratuvarlarımızda bulunan Leica EM CPD300 Kritik Nokta Kurutma Cihazı ile biyolojik numuneler başta olmak üzere aerojen ve hidrojel gibi polimerik ve çeşitli malzemelerin kurutularak SEM görüntülemelerinin yapılması sağlanmaktadır. Ayrıca, SEM görüntülemesi istenen iletken olmayan numunelerin Leica EM ACE600 kaplama cihazımız ile istenilen kaplama kalınlığında altın/ paladyum (Au/Pd) veya karbon (C) kaplanarak alınabilmektedir.